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罕王微电子硅晶圆清洗用超纯水系统

  项目背景:

  纵观世界,当智能手机、汽车电子、机器人与无人机等产业在一点一点悄然崛起时,MEMS也在走进人们的视野中。MEMS(全称Micro Electromechanical System),中文称微机电系统(以下简称微电子),是一种尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置,主要由传感器、动作器(执行器)和微能源三大部分组成。微电子主要分为传感MEMS技术、生物MEMS技术、MEMS光学扫描仪与射频MEMS技术四大类,目前我国在传感MEMS技术这一方面发展较为火热。MEMS作为一项革命性的新技术,其发展关系到我国科技的发展,产业前景不可估量。

  罕王微电子(辽宁)有限公司是一家以MEMS传感器设计及制造生产为核心的高科技中美合资企业。主营业务为MEMS高端传感器及其配套电子产品,莱特莱德为其提供硅晶圆清洗用超纯水系统。

  项目内容:提供硅晶圆清洗用超纯水系统,产水符合美国ASTM D5127电子及半导体业用纯水水质TypeE-1.2,高于中国国家电子级超纯水标准GBT11446.1-1997EW-Ⅰ标准。

  项目介绍:项目工艺流程:原水-预处理-双级反渗透-脱气系统-EDI系统-脱气系统-抛光混床-终端颗粒去除器

超纯水设备

莱特莱德沈阳水处理设备公司  MEMS芯片设计和制造中少不了硅晶圆的身影,根据硅晶圆所需清洗用水标准,莱特莱德为其提供美标电子超纯水定制工艺方案,其中,对于TOC(总有机碳)和DO溶解氧(溶解氧)等指标上要求极高。为此工艺中设置了脱气系统,是为脱去可溶性气体特别是二氧化碳(含量过多会导致pH值下降),这样才能保证产出的超纯水的纯度。超纯水系统中TOC(总有机碳)相对含量较高会影响器件性能,为此设置除TOC 装置。采用终端过滤系统,避免取用超纯水时受到二次污染,确保水质对颗粒物的高指标要求。

  对于此次项目莱特莱德采用BOT(建设-移交-运营)模式,前期预先缴付押金,后期每月缴付运营费用,为期五年。五年中,一切运营维护都由莱特莱德承担,客户可以在前期较少投资的情况下就使用到美标1.2级超纯水。五年期满后,进行设备转让。BOT模式对于承建企业技术水平要求较高,拥有规模大、工程周期长、经营期限长等特点,这些也决定了工程建设的难度与风险。

超纯水设备

  莱特莱德EDI超纯水设备

  工艺优势:

  1、系统所用的超纯水专用膜,采用膜表面高分子嫁接技术,不仅耐酸碱清洗、抗高污染,还可以加快离子迁移速度,使产水TOC在20PPB以下;

  2、系统稳定自动化程度高,产水水质稳定。采用PLC智能化程序,用户能灵活方便地进行操作;

  3、各项指标监测严格,国内少数公司可达到美标超纯水出水指标;

超纯水设备 

  罕王微电子项目超纯水系统整体

  随着人们生活应用的不断丰富,我国MEMS市场也在逐渐扩大,与此同时我国微电子行业面临着技术上的挑战。莱特莱德不仅在技术上坚持的不断完善与创新,在后期维护处理上也尽可能做到为用户考虑。未来莱特莱德莱特莱德沈阳水处理设备公司将会多方涉及微电子行业,为我国的微电子行业增加助力!

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莱特莱德工程案例

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